小闪耀角凸面闪耀光栅的研究与制备

【摘要】本文围绕小闪耀角凸面闪耀光栅的制作方法，对离子束束散角和涂层修整槽形展开了理论和实验研究，主要包含以下几方面的内容：首先介绍了凸面闪耀光栅的意义和国内外凸面光栅的研究进展，综合叙述了离子束刻蚀技术和Kaufman离子源系统的工作原理。深入研究了光刻胶、K9玻璃和石英三种光学材料的刻蚀特性，以氩气为工作气体，得到了三种材料刻蚀速率与入射角度的拟合方程，为离子束束散角的研究提供了基础。详细介绍了离子束束散角的计算以及束散角对刻蚀闪耀角的影响。提出了闪耀光栅闪耀角达到4°以后很难进一步减小可能是受离子束束散角影响的设想，并进行了理论分析和实验验证。通过遮挡刻蚀改良离子源准直性，在平面基底和凸面基底上制得了闪耀角2.8°和3.4°的闪耀光栅，在原有工艺的基础上，将闪耀角降低。通过对已有闪耀角4°左右的闪耀光栅进行旋转涂布和提拉涂布光刻胶，进一步降低闪耀角。验证了不同旋涂、提拉速度和光刻胶溶剂浓度对最终实验结果的影响。得到了闪耀角减小量与涂层胶厚的拟合方程。分别通过旋转和提拉涂布制得闪耀角1.85°，反闪耀角11.1°和闪耀角1.81°，反闪耀角12.7°的凸面闪耀光栅。
【作者】程渔；
【导师】吴建宏；
【作者基本信息】苏州大学，光学工程，2014，硕士
【关键词】小闪耀角；凸面闪耀光栅；离子束束散角；旋转；提拉涂布光刻胶；

【参考文献】
[1]秦伟伟,马建军,郑志强,刘刚.基于容许集的变终端约束MPC控制[J].控制与决策,2010,11:1698-1702.
[2]扬建军,陈应元.国际皮革标准化及国内相应工作综述[J].中国皮革.1993(04)
[3]王绍闯.大肠早癌自体荧光内镜定位诊断系统研究—血原卟啉Ⅸ、组织原卟啉Ⅸ含量与大肠癌在体自体荧光差异的相关性[D].中南大学,生物医学工程,2004,硕士.
[4]张瑜,孙绍民,吕宝春.电力客户服务中心建设技术综述[J].电力需求侧管理,2002,06:31-32.
[5]陆寅.500W光伏独立/并网双模逆变器的研究[D].安徽大学,模式识别与智能系统,2013,硕士.
[6]陈龙.书刊全球发行管理信息系统设计[J].自动化学报,1989,03:261-266.
[7]李妍.DW公司绩效管理现状分析及优化方案[D].广西师范大学,工商管理,2013,硕士.
[8]李静.本能型和计谋型网球专项学生技战术特征的研究[D].北京体育大学,体育教育训练学,2013,硕士.
[9]王洁静.JY连锁酒店的组织公民行为研究[D].西北大学,工商管理（专业学位）,2012,硕士.
[10]张苗.基于模型的软件测试用例自动生成的研究[D].吉林大学,软件工程,2013,硕士.
[11]王慧慧.福建名人墓葬保护与利用模式初探[J].福建文博,2015,01:52-55.
[12]吕真.沈阳市高校武术教师现状调查与分析[D].辽宁师范大学,体育教育训练学,2012,硕士.
[13]苑立飞.产品差异化视角下的吉利微型轿车消费者偏好研究[D].辽宁工程技术大学,企业管理,2012,硕士.
[14]邓春兰.基于复杂网络理论的电网连锁故障脆弱性研究[D].西南交通大学,控制工程,2014,硕士.
[15]陈玲.旅游合同违约精神损害赔偿制度研究[D].中南民族大学,法律（专业学位）,2013,硕士.
[16]邹广平.中国双粘性菲利普斯曲线下的最优货币政策研究[D].首都经济贸易大学,西方经济学,2014,硕士.
[17]谢文君.无油润滑涡旋压缩机动静涡旋盘的有限元分析[D].兰州理工大学,化工过程机械,2013,硕士.
[18]谢锡海.华粤集团绩效评估实践[D].厦门大学,2002.
[19]陆国平.一类非仿射系统全局镇定控制器的设计[J].自动化学报,2003,05:797-800.
[20]张姬欣.白藜芦醇对高AngⅡ、高Hcy所致小鼠足细胞内质网应激反应性凋亡的影响[D].山西医科大学,内科学,2013,硕士.
[21]王志力.新课程下物理科学方法教育在高中教学中的研究[D].华中师范大学,学科教学,2013,硕士.
[22]潘学萍,薛禹胜,王红印,付红军.远离故障点的机组失稳现象及其控制负效应[J].电力系统自动化,2008,17:18-21+54.
[23]宣旻.课题一 基因多态性与原发免疫性血小板减少症激素疗效间的关系 课题二 单中心血友病患者临床特征的回顾性分析[D].北京协和医学院,内科学（专业学位）,2014,博士.
[24]彭进.长沙运发网络客户管理系统的设计与实现[D].山东大学,软件工程（专业学位）,2012,硕士.
[25]邵亮.亚洲型股骨近端抗旋髓内钉与第三代Gamma钉治疗股骨转子间骨折的比较研究[D].苏州大学,骨外科（专业学位）,2013,硕士.
[26]昝济国.基于GPU加速的自适应波束形成SMI算法的设计与实现[D].西安电子科技大学,计算机软件与理论,2012,硕士.
[27]李万文.中国汽车行业技术效率及影响因素实证研究[D].浙江大学,2008.
[28]蒋涛.犯罪本质特征之社会危害性——在全球化语境和社会转型背景下论社会危害性[D].华东政法学院,刑法学,2004,硕士.
[29]葛秀梅.基于网络的保密通话系统设计与实现[D].江苏科技大学,信号与信息处理,2014,硕士.
[30]陈汉波.巴朗山高海拔单洞对向交通公路隧道火灾疏散救援研究[D].西南交通大学,防灾减灾工程及防护工程,2014,硕士.
[31]杨春华.数据挖掘、OLAP在财务决策中的应用[J].财会通讯,2002,10:39-40.
[32]黄艳.藏紫草化学成分及其抑菌活性研究[D].西南交通大学,生物化学与分子生物学,2012,硕士.
[33]娄玉芳.基于B/S模式高校教务管理系统的设计与实现[D].吉林大学,软件工程,2014,硕士.
[34]王保明.一种水面无人艇艇型概念设计及综合性能优化分析[D].江苏科技大学,流体力学,2014,硕士.
[35]张安君.基于Citrix技术的中小企业ASP（应用服务提供商）服务平台构建的研究[D].广西大学,机械制造及其自动化,2004,硕士.
[36]刘传铨,张焰.计及分布式电源的配电网供电可靠性[J].电力系统自动化,2007,22:46-49.
[37]刘昌国.中油陕西销售分公司成品油配送优化和改进[D].西安石油大学,石油与天然气工程（专业学位）,2012,硕士.
[38]赖后伟.阿莫西林对AAO城市污水处理工艺运行的影响及其生物降解行为研究[D].哈尔滨工业大学,市政工程,2013,硕士.
[39]王真.磁性离子交换树脂—混凝沉淀—超滤膜污水深度处理组合工艺研究[D].河北工程大学,环境工程,2012,硕士.
[40]丁新艳.英国殖民统治与印度近代工业化[D].山西大学,世界史,2004,硕士.
[41]史婉婷.从两版范畴的先验演绎浅析康德哲学中的想象力学说[D].吉林大学,外国哲学,2014,硕士.
[42]于建国,林春明,王金铎,郭亚,张明振.曲流河沉积亚相的地震识别方法[J].石油地球物理勘探,2003,05:547-551+461-582.
[43]宋庆奎,杨俊良.宝钢三期二炼钢250t转炉设备[J].一重技术.1999(04)
[44]余涛,沈善德.华中-华东多回HVDC辅助功率/频率控制[J].电力系统自动化,2005,01:77-82.
[45]王晓波.攀长钢钛业人事管理系统设计与实现[D].电子科技大学,软件工程（专业学位）,2013,硕士.
[46]陆媛.基于公司治理机制的非效率投资实证研究[D].青岛大学,会计学,2013,硕士.
[47]杨军.梨野生资源及杂交F_1代的遗传多样性研究[D].南京农业大学,果树学,2012,硕士.
[48]李聪.收益法评估企业价值中折现率的确定[D].河北经贸大学,资产评估,2014,硕士.
[49]朱跃武.试论毛泽东的日本观[D].辽宁师范大学,日语语言文学,2012,硕士.
[50]王辉.流动人口犯罪的法社会学探析[D].苏州大学,法律（专业学位）,2012,硕士.